前段制程是显示面板制造过程中重要环节，Array面板制程利用AOI检测技术监控制造过程的外观缺陷，其检测精度和效率对产品良率和成本产生重要的影响。外围电路、不规则区域的检测困难，成为各显示工厂Array段品控的难点。
Array制程自动光学检测设备
Array制程自动光学检测设备采用天准自主开发Virgo软件平台和独有平台标定技术，适用于Array基板的全制程缺陷检测，扫描速度快，成像精度高(检测精度1.0μm/1.5μm可切换)。
品控难点
设备优势
天准独有的标定平台技术支持图像更好拼接，实现分区域检测，对AA区采用周期对比的方式，对外围区域采用 Panel to Panel 对比方式
天准自主开发的Virgo软件平台支持矩形、圆形、半圆形等异形Map建立
检测精度1.0μm / 1.5μm可切换
